Opintojakson tiedot
Näytä opetus ja tentit
521070A Johdatus mikrovalmistustekniikoihin, 5 op 
Tunniste 521070A  Voimassaolo 01.08.2015 -
Nimi Johdatus mikrovalmistustekniikoihin  Lyhenne Johdatus mikrov 
Laajuus5 op   
OpiskelumuotoAineopinnot Oppiaine4306 Sähkötekniikka 
LajiOpintojakso   
  Arvostelu1 - 5, hyv, hyl 
 
   
Vastuuyksikkö Sähkötekniikan ala 

Opettajat
Nimi
Teirikangas, Merja Elina 

Kuvaus
Laajuus 

5 op

 
Opetuskieli 

Suomi

 
Ajoitus 

2. periodi

 
Osaamistavoitteet 

1. Osaa selittää mikro- ja nanoelektroniikassa sekä -mekaniikassa käytettävien lähdemateriaalien prosessoinnin ja materiaaleilta vaaditut ominaisuudet eri sovelluksiin liittyen.

2. Osaa selittää mikro- ja nanoelektroniikassa sekä -mekaniikan käytettävät valmistusmenetelmät ja pystyy tunnistamaan kunkin valmistusmenetelmän käyttökohteet ja rajoitteet

3. Kykenee suunnittelemaan valmistusprosessin yksinkertaiselle mikroelektroniikan sovellukselle ja pystyy tunnistamaan kompleksisen sovelluksen valmistusprosessin

 
Sisältö 

Kurssilla tutustutaan mikro-, nano- ja optoelektroniikan, sekä MEMS systeemien valmistustekniikoihin. 1. Piille pohjautuvat valmistusmenetelmät: pii ja ohutkalvomateriaalit, komponenttien ja MEMS-systeemien valmistuksessa vaadittavat perusprosessit. 2. Painettavat mikrovalmistusmenetelmät 3. Nanoelektroniikan valmistusmenetelmät.

 
Järjestämistapa 

Kurssi toteutetaan lähiopetuksena.

 
Toteutustavat 

Kurssiin kuuluu 20 h luentoja, harjoitustyöt (10h +10h).

 
Kohderyhmä 

Sähkötekniikan kandidaatinvaiheen opiskelijat.

 
Esitietovaatimukset 

Kurssien 521104A Materiaalifysiikan perusteet ja 521071A Puolijohdekomponenttien perusteet vaadittavat tiedot.

 
Yhteydet muihin opintojaksoihin 

-

 
Oppimateriaali 

Luentomoniste. Franssila Sami: Introduction to Microfabrication

 
Suoritustavat ja arviointikriteerit 

Kurssi suoritetaan loppukokeella ja hyväksytysti suoritetuilla harjoitustöillä.

 
Arviointiasteikko 

Käytetään arviointiasteikkoa 1-5.

 
Vastuuhenkilö 

Merja Teirikangas 

 
Työelämäyhteistyö 

Ei

 


Meneillään oleva ja tuleva opetus
Toiminnot Nimi Tyyppi op Opettaja Aikataulu
ilmoittautumisaika ei ole alkanut Johdatus mikrovalmistustekniikoihin  Opintojakso  Teirikangas, Merja Elina  28.10.19 -11.12.19

Tulevat tentit
Ei tenttejä WebOodissa